Hot Chuck System
Hot Chuck / Thermal Chuck
반도체 특성 평가를 위한 정밀 온도 제어 솔루션
Hot Chuck System은 웨이퍼와 반도체 칩을 고정하고 설정 온도로 유지하는 정밀 스테이지입니다.
프로브스테이션과 연동하여 다양한 온도 조건에서 반도체의 전기적 특성을 평가합니다.
상온 측정으로 확인하기 어려운 온도별 성능 변화와 이상 특성을 분석할 수 있습니다.
또한 자동 켈리브레이션 기능을 지원하여 온도 편차 발생시 자동 보정 기능 지원
Hot Chuck System
Hot Chuck / Thermal Chuck
Precision Temperature Control for Semiconductor Characterization
The Hot Chuck System securely holds wafers and semiconductor chips at a set temperature.
Integrated with a probe station, it evaluates electrical characteristics under a wide range of thermal conditions.
It reveals temperature-dependent performance changes and abnormal behavior that room-temperature testing may miss. Automatic calibration compensates for temperature deviations.
주요 기능 및 활용
| 온도별 특성 평가 | I-V, C-V, 누설전류, 저항 등의 변화 측정 |
|---|---|
| 사용 환경 재현 | 고온·저온 조건에서 소자의 동작 특성 확인 |
| 신뢰성 평가 지원 | 온도 및 전기적 스트레스에 따른 성능 변화 분석 |
| 안정적인 샘플 고정 | 진공 흡착을 통한 웨이퍼 고정 및 열 전달 |
| 측정 재현성 향상 | 일정한 온도 조건을 유지하여 반복 측정 지원 |
주요 사양 및 구성 항목
| 척 크기 | Ø150 / Ø200 / Ø300mm 등 |
|---|---|
| 온도 범위 | 가열 전용 또는 가열·냉각형 구성에 따라 선정 |
| 온도 제어 | 온도 센서 피드백 기반 정밀 제어 |
| 온도 성능 | 정확도·안정도·표면 균일도 기준으로 선정 |
| 전기적 구성 | 측정 목적에 따른 Coax / Triax 및 Guard 옵션 |
| 저온 대응 | 냉각장치 및 건조 공기·질소 퍼지 구성 |
| 안전 기능 | 과열 방지 및 온도 이상 감지 등 |
Key Functions & Applications
| Temperature Characterization | Measure changes in I-V, C-V, leakage current, and resistance |
|---|---|
| Environmental Simulation | Verify device operation under high- and low-temperature conditions |
| Reliability Testing | Analyze performance under thermal and electrical stress |
| Stable Sample Holding | Vacuum clamping for secure holding and heat transfer |
| Improved Repeatability | Maintain constant temperature for repeat measurements |
Main Specifications & Configuration
| Chuck Size | Ø150 / Ø200 / Ø300mm and others |
|---|---|
| Temperature Range | Heating-only or heating/cooling configuration |
| Temperature Control | Precision sensor-feedback control |
| Thermal Performance | Selected by accuracy, stability, and surface-uniformity requirements |
| Electrical Configuration | Coax / Triax and Guard options |
| Low-Temperature Operation | Chiller with dry-air or nitrogen purge |
| Safety | Over-temperature protection and abnormal-temperature detection |