제목1

Micro-LED E/L 검사 장비

System introduction

Micro LED E/L(Electroluminescence) 검사 장비는 Micro-LED Chip 또는 Panel에 전기적 신호를 인가하여 LED가 발광하는 상태를 카메라로 촬영하고, 각각의 Pixel 또는 Micro LED Chip에 대한 발광 여부, 밝기, 색상, 위치 및 불량 상태를 자동으로 검사하는 장비입니다.

또한 자체 제작 한 MEMS 공정을 이용한 초소형 Probe Tip 10um x 10um 초소형 Pad의 전기 특성 과 광 특성 측정을 동시에 측정 할 수 있는 Probe Tip 개발 초정밀 스테이지를 이용하여 대량의 Micro-LED 고속으로 측정 할 수 있는 멀티 계측 시스템을 개발 하여 멀티 E/L 측정도 가능합니다.

정밀 한 시스템 구성으로 측정 프로빙 영역에 정확히 위치 시켜 전기 특성과 광 특성을 동시에 측정함으로써 측정 시간을 절약 할 수 있습니다.

Micro-LED E/L Inspection

System introduction

The Micro-LED E/L Inspection System applies electrical signals to Micro-LED chips or panels, captures emitted light with cameras, and automatically evaluates emission, brightness, color, position, and defects for each pixel or chip.

I-PRECISION has also developed a MEMS-fabricated micro probe tip for simultaneous electrical and optical measurement on pads as small as 10 µm × 10 µm.

A high-precision multi-channel platform enables high-speed, high-volume testing and simultaneous multi-site E/L measurement. Accurate probe positioning reduces test time by measuring electrical and optical characteristics together.

Specification

Chuck Size 200 or 300mm (Rectangle Chuck)
Chuck Material Nickel plated
Stroke Z Axis(10mm) , Theta(Fine theta manual movement ± 3°)
Isolation Table 3 Auto Leveling Valve, Natural Frequency of System : Vertical : 1.2~1.5Hz
Optic Unit 4 or 5Hole Turret, Probing View Camera
Motorized Positioner X/Y/Z, Tilt, Rotate
Optic Unit Probing View Camera
Size (W)1900 x (D)1400 x (H) 2000
Utility CDA(0.7MPa), Vacuum(0.5MPa)
Chuck Size 200 or 300mm (Rectangle Chuck)
Chuck Material Nickel plated
Stroke Z Axis(10mm) , Theta(Fine theta manual movement ± 3°)
Isolation Table 3 Auto Leveling Valve, Natural Frequency of System : Vertical : 1.2~1.5Hz
Optic Unit 4 or 5Hole Turret, Probing View Camera
Motorized Positioner X/Y/Z, Tilt, Rotate
Optic Unit Probing View Camera
Size (W)1900 x (D)1400 x (H) 2000
Utility CDA(0.7MPa), Vacuum(0.5MPa)