PROBE STATION
Vacuum(Hot/Cool) Chamber Prober
System introduction
온도 가변 Prober는 진공조건에서 온도를 변화 시켜 측정하는 Probe-Station 입니다.
진공 조건에서 상온, 고온, 저온 선택적으로 측정 할 수 있습니다.
특히 계측기와 연동하여 Device 변화를 자동으로 측정하는 솔루션도 제공 하고 있습니다.
고객의 요청에 따라 Thermal 및 InGaAs Detector도 제공 합니다.
Manipulator는 매뉴얼 및 Motorized 등 다양한 옵션 또한 선택 적으로 사용 가능 합니다.
Specification:
- Chuck Size : 200mm or 300mm(Display Type 제공 가능)
- Temperature range : -12°C ~ +130°C
- Temperature resolution : ±0.5°C
- Utility : 200V DC, 150W
- Option : Pressure Gauge, N2 Auto Refill , Vacuum Pump, Vibration Table, Motorized Manipulator
Manual Positioner
System introduction
Manual Positioner는 Probe-Station에서 필수 적인 Tools로써 125~250um의 Screw를 사용 하여 미세한 Probing이 가능 하며 흔들림 없이 사용 할 수 있습니다. DC용과 RF용으로 고객이 선택하여 사용 할 수 있습니다.
전면의 Bracket은 Needle 외 다른 다양한 Pin을 사용할 수 있도록 변경 할 수 있습니다.
또한 고정 방식으로는 Vacuum, Magnetic 을 선택하여 제공 할 수 있습니다.
Specification:
- Material : Aluminum
- Stroke : XYZ Axis(12mm)
- Screw Resolution : 0.125~0.25mm
- Size : (W)70 x (D)100 x (H) 90
- Utility : Vacuum(50KPa) or Magnetic
