Introduction

1.MEMS 공정을 이용한 초소형 Probe Tip

10um x 10um 초소형 Pad의 전기 특성 및 광 특성 측정을 위한 Probe Tip 개발

2.Stage 정밀도 1um 이하의 초정밀 스테이지

대량의 Micro-LED Chip을 1um 정밀도의 스테이지를 이용, 고속으로 측정 할 수 있는 초정밀 Stage 개발

3.Dual measurement Optics(전기/광 특성 동시측정)

광학계 구성을 전기적 특성 영역에 정확히 위치 시켜 동시에 측정 가능하도록 구성, 전기 특성과 광 특성을 동시에 측정함으로써 시간절약

4.대용량 측정 데이터 관리 및 처리

대용량/고속으로 처리된 측정 데이터 관리/처리 가능
관련 알고리즘과 데이터베이스 기술 개발