System introduction

초정밀 자동 프로빙을 위한 Motorized Positioner

본 시스템은 반도체 소자의 미세 Pad 및 Micro Device 측정을 위해 설계된 고정밀Motorized Positioner입니다. 고정밀Linear Motor 구동 방식을 적용하여 부드럽고 정밀한 위치 제어가 가능하며, 최소 100 nm급 Positioning Resolution을 기반으로 미세한 Probe Tip의 위치를 세밀하게 조정할 수 있습니다.

기존 Manual Positioner와 달리 XYZ Axis를 Motorized 방식으로 제어할 수 있어 작업자가 직접 미세 조정하는 부담을 줄이고, Probe Tip을 목표 Pad 위치로 빠르고 반복성 있게 이동시킬 수 있습니다. 특히 Pad Size와 Pitch가 지속적으로 미세화되는Semiconductor, RF Device, MEMS, Photonics 등의 측정 환경에서 안정적인 Probe Contact를 지원합니다.

고배율 Microscope 및 Vision System과 연동하면 Probe Tip과 Pad 위치를 실시간으로 확인하면서정밀 위치 보정이 가능하며, 시스템 구성에 따라 자동 Alignment 및 Auto Contact 기능으로 확장할 수 있습니다. 이를 통해 반복 측정 시 작업자에 따른 편차를 최소화하고 측정 재현성과 생산성을 향상시킬 수 있습니다.

또한 Linear Motor 기반의 비접촉 구동 구조는 정밀한 미세 이동과 빠른 응답성을 제공하며, 다양한 Probe Station 및 Measurement System에 적용할 수 있도록 유연한 인터페이스 구성이 가능합니다.

System introduction

Motorized Positioner for Ultra-Precision Automated Probing

Designed for fine pads and microdevices, this linear-motor positioner provides smooth X/Y/Z control with 100 nm resolution.

It moves probe tips quickly and repeatably to target pads, reducing operator workload and supporting stable contact for semiconductor, RF, MEMS, and photonics devices.

With a microscope and vision system, operators can monitor and correct tip-to-pad alignment in real time. Optional auto-alignment and auto-contact improve repeatability and productivity.

The non-contact drive provides fine motion, fast response, and flexible integration with probe stations and measurement systems.